三坐標測量機的運動控製係統根據位置控製的原理，即是否有檢測反饋傳感器及其檢測部分
，分為開環控製和閉環控製。

　　開環控製係統

　　如ru下xia圖tu所suo示shi
，伺si服fu驅qu動dong器qi是shi開kai環huan的de，即ji沒mei有you檢jian測ce反fan饋kui裝zhuang置zhi。驅qu動dong電dian機ji一yi般ban采cai用yong步bu進jin電dian機ji。這zhe種zhong控kong製zhi方fang式shi的de最zui大da特te點dian是shi控kong製zhi方fang便bian，結jie構gou簡jian單dan，價jia格ge低di廉lian。控kong製zhi係xi統tong發fa出chu的de位wei移yi指zhi令ling信xin號hao流liu是shi單dan向xiang的de，不bu存cun在zai穩wen定ding性xing問wen題ti
，但dan由於機械傳動誤差沒有經過反饋修正，位移精度一般不高。

　　閉環控製係統

　　zaikongzhixitongzhong，ruguokongzhizhuangzhiduibeikongduixiangshijiakongzhixiaoguo，ruguokeyicongbeikongliangdefankuixinxizhonghuoqu
，jigenjushijishuruduikongzhixiaoguojinxingxiuzheng，shixianduibeikongduixiangdekongzhi。shoukongduixiang。zhezhongkongzhiyuanlichengweifankuikongzhiyuanli。zhengshiyinweifankuixinxideyinru，zhenggekongzhiguochengcaibiandefengbi。yinci

，jianlizaifankuiyuanlishangdekongzhixitongchengweibihuankongzhixitong。zaibihuankongzhixitongzhong

，qikongzhidongzuodeyijushibeikongliangyugeidingzhidepiancha。zhezhongpianchashigezhongshijiganraozaochengdezong“結果”。

　　因此
，這類係統往往能夠同時抵抗多種擾動，對係統自身元件參數的波動不是很敏感。閉環控製係統的定義：任何輸出信號對控製功能有直接影響的係統。閉環控製係統具有以下突出特點： 1. 控製功能不是直接來自給定的輸入

，而是係統的偏差信號。偏差產生對係統受控量的控製。 2、係統被控量的反饋信息反過來影響係統的偏差信號，即控製效果的大小。

　　其qi位wei置zhi反fan饋kui采cai用yong光guang柵zha等deng檢jian測ce元yuan件jian對dui被bei控kong對dui象xiang進jin行xing檢jian測ce，可ke消xiao除chu從cong電dian機ji到dao被bei控kong單dan元yuan整zheng個ge機ji械xie傳chuan動dong鏈lian中zhong的de傳chuan動dong誤wu差cha，獲huo得de較jiao高gao的de靜jing態tai定ding位wei精jing度du。

　　但是，在整個控製回路中，許多機械傳動環節的摩擦特性、剛度和間隙是非線性的，整個機械傳動鏈的動態響應時間(與電氣響應時間相比)非常大，使得整個閉環係統穩定性校正比較困難，係統的設計和調整也比較複雜。其結構圖如下圖所示。